由于近年来磁性元件的小型化和性能的增加，需要一种软磁性材料，该软磁性材料在几百兆赫兹或较高的频率范围内表现出高磁导率，是具有高饱和度的软磁材料。磁通密度为5 kG或较高，高电阻率和低矫顽力。需要具有高比电阻的软磁材料作为变压器的材料。作为具有高饱和磁通密度的磁性材料，Fe或以Fe为主要成分的合金是众所周知的。然而，当通过诸如溅射之类的膜形成将其形成为磁性膜时，这种合金尽管具有高的饱和磁通密度，但仍表现出高的矫顽力和低的电阻率。因此，较难从这种合金获得令人满意的软磁性能。高频范围内的磁导率减少的原因之一是由于涡电流的产生而引起的损耗。为了减少产生涡电流，需要减小膜厚并增加薄膜电阻率。然而，在不使磁性能下降的情况下，实现电阻率的增加比较困难。由诸如铁锈等合金制成的软磁薄膜的比电阻小至十几μΩ.cm。所需要的是软磁合金，其具有增加的电阻率，并且还保护至少0.5 T的饱和磁通密度。此外，当实现薄膜形式的合金时，由于产生磁致伸缩等的影响，仍然较难获得令人满意的软磁性能。为了解决上述问题而做出本发明。因此，本发明的目的是提供具有高电阻率的软磁性合金作为在高频范围等中使用的磁性材料，以及使用这种软磁性合金的平面磁性元件。