软磁性能的体现
软磁合金磁性膜的饱和磁通密度(Bs)和矫顽力(Hc)在使用之前退火通过VSM测量。此外,通过四端子法测量合金磁性膜的电阻率(ρ)。
随后,通过VSM测量热处理之后的合金磁性膜的饱和磁通密度和矫顽力。此外,通过四端子法测量合金磁性膜的电阻率。展示出了组成为Fe69.8Sm11.0O19.2的合金膜的饱和磁通密度,矫顽力和电阻率的测量结果。在图在图1中,饱和磁通密度由(-。小圆圈-。小圆圈-)表示,矫顽力由(-。圆圈-固体-。圆圈-固体)表示,并且电阻率由(-Δ-Δ-)。同样,示出了组成为Fe68.5Ho11.5O20.0的合金膜的饱和磁通密度(Bs),矫顽力(Hc)和电阻率(ρ)的测量结果。在图在图2中,饱和磁通密度由(-。小圆圈-。小圆圈-)表示,矫顽力由(-。圆圈-固体-。圆圈-固体)表示,并且电阻率由(-Δ-Δ-)。
从中可以看出,具有Fe69.8 Sm11.0 O19.2组成的本发明合金膜具有12.1 kG的高饱和磁通密度,15 Oe的低矫顽力和610μΩ.cm的高电阻率因此,表明良好的软磁性能,并且从图5可以看出。由图2可知,本发明的具有Fe68.5Ho11.5O20.0组成的合金膜的饱和磁通密度较低,为8.9kG,矫顽力较低,为6.50Oe。其比电阻1800μΩ.cm。