晶体的成分分析

       出了通过测量具有与图9的示意图中所示的软磁合金膜相同组成的软磁性合金膜的晶相部分而获得的分析结果。 通过使用能量分散型X射线光谱仪(EDS);和示出了通过测量相同的软磁性合金膜的非晶相部分而获得的分析结果。从这些结果可以看出,结晶相部分包含大量的b-c-c Fe,而非晶相部分包含高浓度的Hf和O。图中的Cu峰归因于EDS支架;它们不是由于软磁性合金膜中包含的元素引起的。

通过比较从图1和图2获得的结果。参照图8和9,具有表1所示的特性值。与具有图7所示的结构的样品相比,图9的结构包含较大比例的非晶相。 8.由于非晶态相的比例较大,该样品的电阻率值显着增加,如表1所示,其矫顽力基本保持不变。因此,发现通过减少Fe细晶相的比例以增加非晶相的比例,可以在不改变矫顽力的情况下实质上增加比电阻。

下一步出通过使用具有上述组成的软磁性合金的磁性膜制成的电感器(平面磁性元件)的结构。

软磁合金


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