绝缘层的具体用途
设置缘层3是为了在向平面线圈2通电时不导通至磁性膜4而引起短路。软磁合金期望缘层3由高分子膜例如聚酰亚胺膜或无机膜例如SiO 2膜,玻璃膜或硬碳膜组成。缘层3通过在糊剂印刷之后进行烧结来形成,或者通过诸如热浸镀,热喷涂,气相镀,真空沉积,溅射或离子镀的方法来形成。
磁性膜4由具有上述组成的软磁性合金的膜构成。较具体地说,该合金具有Fea Mb Oc的组成;其中M代表至少一种元素周期表中的稀土元素(Sc和Y,属于元素周期表的3A组,或镧系元素,包括La,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,Td,Dy ,a,b,c(原子%)的组成比为:50≤a≤70、5≤b≤30、10≤(Ho,Er,Tm,Yb,Lu等)或其混合物。 c≤30,并且a + b + c = 100。磁性膜4也可以由组成为Fed M'e Of的软磁性合金构成。其中M′表示元素Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta和W中的至少一种,或它们的混合物,组成比d,e和f(原子%)如下:45≤d ≤70、5≤e≤30、10≤f≤40,并且d + e + f = 100。
通过将具有几百kHz的频率和几mA的幅值的正弦电流施加到如上所述构造的电感器B,可以执行电感测量以获得几百μH量的测量值。此外,具有上述结构的电感器B小,薄且轻,并且包括具有良好的磁性的磁性膜4,从而于减小平面磁性元件的尺寸和重量,并表现出较好的电感。
通过使用具有如上所述组成的软磁合金膜形成的电感器的结构。