此外，通过在具有上述组成的软磁合金上在预定的300°C至600°C的温度下进行退火，虹膜可能会显着增加合金的饱和磁通密度，或者调节矫顽力的值，并且在保持饱和磁通密度处于较好的同时，保持其比电阻。因此，通过适当设定退火温度，可以得到具有高饱和磁通密度，根据用途适当的矫顽力和电阻率的软磁性合金。此外，通过选择根据本发明的软磁性合金的热处理条件，可以获得400〜1×105的高电阻率，因此当用于构造磁性元件时，软磁性根据本发明的合金能够在高频范围内涡流损耗，从而提供一种涡流损耗小的磁性元件。此外，通过在基板上形成平面线圈并用缘层覆盖该线圈，并且提供具有如上所述组成的软磁合金的磁性膜，以覆盖平面线圈和缘层以构成诸如电感器的平面磁性元件，可以施加矫顽力低，饱和磁通密度高且对磁性元素的比电阻高的优良软磁合金，从而提供了好的磁芯。轻巧的新型磁性元件。因此，可以提供小且轻的平面磁性元件。